新華社北京6月29日電（記者 溫競?cè)A）記者29日從中國電子科技集團有限公司獲悉，該集團旗下中電科電子裝備集團有限公司（簡稱電科裝備）已實現(xiàn)國產(chǎn)離子注入機28納米工藝制程全覆蓋,，有力保障我國集成電路制造行業(yè)在成熟制程領(lǐng)域的產(chǎn)業(yè)安全,。
       離子注入機是芯片制造中的關(guān)鍵裝備。在芯片制造過程中,，需要摻入不同種類的元素按預(yù)定方式改變材料的電性能,，這些元素以帶電離子的形式被加速至預(yù)定能量并注入至特定半導(dǎo)體材料中，離子注入機就是執(zhí)行這一摻雜工藝的芯片制造設(shè)備,。
       當(dāng)前,，28納米是芯片應(yīng)用領(lǐng)域中覆蓋面最廣的成熟制程。據(jù)介紹,，電科裝備連續(xù)突破光路,、控制、軟件等關(guān)鍵模塊的核心技術(shù),，形成中束流,、大束流、高能及第三代半導(dǎo)體等全系列離子注入機產(chǎn)品格局,，實現(xiàn)了28納米工藝制程全覆蓋,，切實保障國產(chǎn)芯片生產(chǎn)制造。
       據(jù)了解,，作為國內(nèi)最早從事離子注入設(shè)備研制及產(chǎn)業(yè)化的企業(yè),，電科裝備已具備從產(chǎn)品設(shè)計到量產(chǎn)應(yīng)用的完整研制體系，產(chǎn)品涵蓋邏輯器件,、存儲器件,、功率器件、傳感器等工藝器件,，百臺設(shè)備廣泛應(yīng)用于國內(nèi)各大集成電路先進產(chǎn)線,，累計流片2000萬片，有力提升我國產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈韌性和安全水平,。