新華社北京6月29日電（記者 溫競(jìng)?cè)A）記者29日從中國(guó)電子科技集團(tuán)有限公司獲悉,，該集團(tuán)旗下中電科電子裝備集團(tuán)有限公司（簡(jiǎn)稱電科裝備）已實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)離子注入機(jī)28納米工藝制程全覆蓋，有力保障我國(guó)集成電路制造行業(yè)在成熟制程領(lǐng)域的產(chǎn)業(yè)安全,。
       離子注入機(jī)是芯片制造中的關(guān)鍵裝備,。在芯片制造過程中，需要摻入不同種類的元素按預(yù)定方式改變材料的電性能,，這些元素以帶電離子的形式被加速至預(yù)定能量并注入至特定半導(dǎo)體材料中,，離子注入機(jī)就是執(zhí)行這一摻雜工藝的芯片制造設(shè)備。
       當(dāng)前,，28納米是芯片應(yīng)用領(lǐng)域中覆蓋面最廣的成熟制程,。據(jù)介紹，電科裝備連續(xù)突破光路,、控制,、軟件等關(guān)鍵模塊的核心技術(shù)，形成中束流,、大束流,、高能及第三代半導(dǎo)體等全系列離子注入機(jī)產(chǎn)品格局,，實(shí)現(xiàn)了28納米工藝制程全覆蓋,，切實(shí)保障國(guó)產(chǎn)芯片生產(chǎn)制造。
       據(jù)了解,，作為國(guó)內(nèi)最早從事離子注入設(shè)備研制及產(chǎn)業(yè)化的企業(yè),，電科裝備已具備從產(chǎn)品設(shè)計(jì)到量產(chǎn)應(yīng)用的完整研制體系，產(chǎn)品涵蓋邏輯器件,、存儲(chǔ)器件,、功率器件,、傳感器等工藝器件，百臺(tái)設(shè)備廣泛應(yīng)用于國(guó)內(nèi)各大集成電路先進(jìn)產(chǎn)線,，累計(jì)流片2000萬片,，有力提升我國(guó)產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈韌性和安全水平。